A-A+ 影响光刻分辨率的参数是（） 2024-04-26 18:57:53 网课题库 阅读 次 问题详情 影响光刻分辨率的参数是（） A．A焦深（f）B．工艺因子（k）C．数值孔径（NA）D．数值孔径 参考答案 波长越短，分辨率越高