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电子束本身具有一定的发射角，随着行进距离的增大，电子束的束斑直径会不断增大，直接降低了电子束的功率密度，同时也降低了电子束的成型精度，因而需要在电子束到达底板之前对电子束聚焦，减小束斑直径，提高功率密度。