摘要：二次电子通常是与背散射电子（又称一次电子）相对应，分别用于SEM中的形貌衬度像（SE）和原子序数衬度像（BSE）。其实背散射电子包括弹性散射和非弹性散...

二次电子通常是与背散射电子（又称一次电子）相对应，分别用于SEM中的形貌衬度像（SE）和原子序数衬度像（BSE）。其实背散射电子包括弹性散射和非弹性散射。BSE指的是弹性散射，SE是指非弹性散射导致样品中的外层电子受到激发脱离原子束缚，进而得到二次电子。光电子与俄歇电子分别是XPS和AES的检测信号。光电子也是原子中电子受激发逃逸出来，俄歇电子是电子由高能级向低能级跃迁释放的能量不以特征X射线形式而是激发同能级的电子使其逃离原子。二次电子与光电子(光电效应)的区别就是二次电子是由粒子流撞击出电子得到的，光电子是光子流的能量使电子吸收能量跃迁至原子表面。本质都是电子得到能量。