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(1)证明当氧化层中电荷分布为ρ(x)时，相应的平带电压变化可用下式表示：

(2)若全部电荷Q₀都位于硅-氧化硅的界面上，重复(1)．
(3)若电荷成三角分布(总电荷量为Q₀)，它的峰值在x=0． 在x=x₀处为零(x₀为氧化层厚度)，重复(1)．