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A、以5μm大小的硅尘致病能力最强

B、硅肺的致病因子是二氧化硅尘粒

C、吸入到肺泡内硅尘量多的部位导致硅结节形成，量少则引起弥漫纤维化

D、病变以肺组织下叶及背侧为明显

E、晚期导致肺门淋巴结的病变

此题为多项选择题。请帮忙给出正确答案和分析，谢谢！