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将预先制好的掩膜直接和涂有光致抗蚀剂的晶片表面接触 再用紫外光照射来进行曝光的方法 称为()

2022-08-10 13:13:49 问答库 阅读 189 次

问题详情

将预先制好的掩膜直接和涂有光致抗蚀剂的晶片表面接触,再用紫外光照射来进行曝光的方法,称为()曝光。
A.接触
B.接近式
C.投影

参考答案

本题答案:A

考点:晶片,表面