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外延层的迁移率低的因素有原材料纯度();反应室漏气;外延层的晶体();系统沾污等;载气纯度不

2022-08-10 13:22:46 问答库 阅读 189 次

问题详情

外延层的迁移率低的因素有原材料纯度();反应室漏气;外延层的晶体();系统沾污等;载气纯度不够;外延层晶体缺陷多;生长工艺条件不适宜。

参考答案

本题答案:不够;质量差

考点:外延,纯度