A-A+ 外延层的迁移率低的因素有原材料纯度();反应室漏气;外延层的晶体();系统沾污等;载气纯度不 2022-08-10 13:22:46 问答库 阅读 189 次 问题详情 外延层的迁移率低的因素有原材料纯度();反应室漏气;外延层的晶体();系统沾污等;载气纯度不够;外延层晶体缺陷多;生长工艺条件不适宜。 参考答案 本题答案:不够;质量差