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根据《云南省行政规范性文件制定和备案办法》的规定，法制机构应当对规范性文件送审稿的()、()、()、()、()和其他需要审查的内容进行合法性审查。
A.制定权限
B.制定程序
C.制定主体
D.制定依据
E.制定内容